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VAC-W系列HMDS预处理烘箱
VAC-W系列HMDSyuchuli真空烤箱用于在涂胶前对晶片进行预处理。设备由腔体、真空、加热、充氮、加液及控制等系统组成。通过多次预抽真空,150ºC热氮加热,既能达到使硅片表面干燥、洁净的效果,又能够有效的防止硅片的氧化和杂质的扩散,并且可以通过加液系统在硅片表面开成HDMS保护膜,从而使硅片具有良好的涂胶性能。和手工涂布HMDS相比,具有重复性好,节省药液,环保,对人体无害的显著优点;也可用于晶片其它工艺的清洗。控制采用PLC,人机界面采用触摸屏,具有可靠性高,操作方便、直观等特点。
标准功能:

u LCC临时高达500°F(260°C)的LCD温度。高达662°F(350°C)

u 真空度可达1托(133Pa)

u 不锈钢内部和外部,所有内部接缝连续焊接在绝缘侧,以保护腔室免受污染

u 制具有大型LCD显示屏,集成数据记录功能和USB端口,可实现简单的烤箱设置和数据导出

u Modbus通信连接,用于远程监控和记录

u 循环结束和高限制声光报警

u 可编程门锁

u 开放式控制面板

选项:

u 数据采集软件

u 无油真空泵

u 自动HMD添加装置

u 符合CE标准


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