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SEM-N系列聚酰亚胺固化

SEM-N系列聚酰亚胺固化烤箱是一种清洁工艺烘箱,专为聚酰亚胺硬烘烤和固化应用而设计。

许多半导体制造环境的前端机器适用于聚酰亚胺固化。

这种昂贵的工艺导致设备在清洁度,惰性气氛能力,循环时间或数据采集方面通常不适合聚酰亚胺固化。

SEM-N系列烤箱优化了半导体的聚酰亚胺固化工艺

晶圆器件。它可以缩短周期时间,并为产品负载中的所有晶圆提供一致,可重复的固化过程。我们为SEM-N系列烤箱设计了一个压力释放系统,该系统包括一个可拆卸的“冷阱”,一个易于清洁的冷凝水收集器,有助于防止聚酰胺在炉内排气中积聚。


标准功能:

u 再循环空气100%通过99.99%HEPA过滤器过滤,用于ISO 5级(100级)或高的操作

u 集成的PC 接口,具有实时图形显示功能

u 氧气监控系统

u 16千瓦加热器容量

u 自动水控制,带不锈钢水冷盘管

u 温度最高可达(450°C)

u 快速循环时间,最高每分钟5°C

u 温度均匀性为±1%

u 每层最大23千克

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