SEM-N系列聚酰亚胺固化烤箱是一种清洁工艺烘箱，专为聚酰亚胺硬烘烤和固化应用而设计。
许多半导体制造环境的前端机器适用于聚酰亚胺固化。
这种昂贵的工艺导致设备在清洁度，惰性气氛能力，循环时间或数据采集方面通常不适合聚酰亚胺固化。
SEM-N系列烤箱优化了半导体的聚酰亚胺固化工艺
晶圆器件。它可以缩短周期时间，并为产品负载中的所有晶圆提供一致，可重复的固化过程。我们为SEM-N系列烤箱设计了一个压力释放系统，该系统包括一个可拆卸的“冷阱”，一个易于清洁的冷凝水收集器，有助于防止聚酰胺在炉内排气中积聚。
型号 规格参数 | SEM-90 (A~B) | SEM- 180 (A~B) | SEM- 409 (A~B) | SEM-1260 (A~B) | |||||||
内箱尺寸(W*D*H)mm | 350*580*400 | 600*600*500 | 640*640*1000 | 990*1100*1250 | |||||||
工作腔数量 | 1 单腔 | 2 双腔 | 4 四腔 | 1 单腔 | 2 双腔 | 4 四腔 | 1 单腔 | ||||
外型尺寸(W*D*H)mm | 以实物为准(温度不同外箱尺寸不同) | ||||||||||
工作温度范围 | A1: 室温～250℃ A2: 室温～350℃ B1: 室温～450℃ | ||||||||||
氧含量 | 20%-20ppm可调节 | ||||||||||
机器性 能 | 控制精度 | 0.1℃ | |||||||||
分布均匀度 | ±2.0℃% | ||||||||||
升温 时间 | ℃ | 250 | 350 | ||||||||
min | 40 | 70 | |||||||||
材质 | 外部材质 | SS41 钢板粉体烤漆处理 | |||||||||
内部材质 | SUS304 不锈钢数控折弯成型 | ||||||||||
隔热材质 | 陶瓷纤维棉 | ||||||||||
密封材料 | 采用耐高温硅橡胶 | ||||||||||
循环系统 | 多翼式循环风扇 | ||||||||||
氮气装置 | 流量计大小可调(L/min) | ||||||||||
加热器 | 不锈钢无尘加热器 | ||||||||||
计时器 | 0.1S～9999H | ||||||||||
温控器 | 普通标准型/触摸屏 PLC 程序控制型 | ||||||||||
其它配件 | 隔层置物架（不锈钢冲孔盘 2 片） | ||||||||||
安全装置 | 电路系统负载保护，风机过载保护，温到计时时到断加热，故障警示灯 | ||||||||||
选配件 | ①多点测温查看及记录功能；②氧含量分析仪；⑥MES/SECS功能；⑦ 高效过滤器；⑧快速降温系统 | ||||||||||
电源（V） | 220 | AC 3 相 5 线 380V 50HZ | |||||||||
注：1、以上数据均在环境温度（QT）25℃.工作室无负载条件下测得 2、可依客户要求之尺寸制作，满足客户的要求。本技术信息，如有变动恕不另行通知 | |||||||||||
标准功能：
u 再循环空气100％通过99.99％HEPA过滤器过滤，用于ISO 5级（100级）或高的操作
u 集成的PC 接口，具有实时图形显示功能
u 氧气监控系统
u 16千瓦加热器容量
u 自动水控制，带不锈钢水冷盘管
u 温度最高可达（450°C）
u 快速循环时间，最高每分钟5°C
u 温度均匀性为±2％
u 每层隔板承重23千克
